tmah显影液【相关词_ tmah】

随着光刻线宽和均匀性的要求越来越高,光刻界也试图改变现有的TMAH显影液。例如,使用6.71 wt%的TBAH (tetrabutylammonium hydroxide)水溶液作为显影液。初步的实验结果

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