气相外延的优缺点【相关词_ 气相外延生长】

为了保证外延层的晶体完整性,外延必须在高温( 800~1 150qC)下进行,高温工艺加重了扩散效应和自掺杂效应,影响了对外延层掺杂情况的控制。这是气相外延的缺点。 2.气相

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