介质刻蚀【相关词_ 介质刻蚀机】

维普资讯真空科学与技术学报第26卷第 2期 OFVACUUMSCIENCEANDTECHNOLOGY 2007年3、4月碳氟感应耦合等离子体的SiO2介质刻蚀的研究虞一青辛煜宁兆元 (苏州大

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碳氟感应耦合等离子体的SiO2介质刻蚀的研究

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一种多晶硅层间介质刻蚀方法

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