全世界只有少数厂家掌握光刻机技术。例如ASML、尼康、佳能、欧泰克、上海微电子 对于光刻机技术来说,90纳米是一个技术台阶;45纳米是一个技术台阶;22纳米是一个技术
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干翻尼康、佳能,ASML垄断光刻机:不是中国没
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中国14纳米芯片光刻机 中科院、上微自主研制
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