300mm硅片 质量【相关词_ 硅片质量】

300mm硅片技术发展现状与趋势周旗钢 (有研半导体材料股份有限公司,北京100088)摘要:综合评述了 300 mm硅材料在晶体生长、硅片成形、表面质量控制、衬底优化以及表征

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