sims二次价离子质谱格【相关词_ 二次离子质谱】

SIMS(二次离子质谱)可以侦测浓度非常低的掺杂和杂质,也可以提供从几Å到几十µm范围内的元素深度分布。样品通过使用一次离子(通常是O或者Cs)来进行溅射/蚀刻,在溅射

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