化学气相沉积法【相关词_ 化学气相沉积法原理】

化学气相沉积法之所以得到发展,是和它本身的特点分不开的,其特点如下。 I) 沉积物种类多:可以沉积金属薄膜、非金属薄膜,也可以按要求制备多组分合金的薄膜,以及陶瓷或化

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