法來生長藍寶石單晶的長晶爐,其組成如下圖照片所示,共分為五個單元: 1. 控制器:包括真空、電壓、加熱與冷卻速率以及拉晶速率之控制單元。 2. 爐體:包括真空系統、加熱器

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